Piezoresistive Drucksensoren

Unter dem piezoresistiven Effekt versteht man die Tatsache, dass sich der elektrische Widerstand eines Materials verändert, wenn auf das Material mechanische Druck- oder Zugkräfte wirken. Piezoresistive Drucksensoren nutzen diesen Effekt zur Druckmessung. Meist basieren sie auf einer Silizium-Membran, in die vier Dehnungsmessstreifen (DMS) eingelassen sind. Die DMS werden so angebracht, dass zwei von ihnen auf die Stauchung bzw. Dehnung unter Druck mit einer positiven, zwei mit einer negativen Widerstandsänderung reagieren. So entsteht eine elektrische Spannung, die als Messsignal genutzt werden kann.

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